Trong nhiều năm qua, máy quang khắc EUV của ASML được xem là rào cản công nghệ quan trọng nhất ngăn Trung Quốc tiến tới những thế hệ chip tiên tiến nhất thế giới. Chính vì vậy, khi Huawei và các công ty bán dẫn Trung Quốc liên tục cho thấy khả năng sản xuất những dòng chip ngày càng hiện đại hơn, một câu hỏi bắt đầu xuất hiện tại Washington: Liệu Trung Quốc có thực sự không sở hữu công nghệ EUV như lâu nay mọi người vẫn nghĩ?
Theo Bloomberg, câu hỏi này đã được Bộ trưởng Thương mại Mỹ Howard Lutnick trực tiếp nêu ra trong các cuộc gặp gần đây với lãnh đạo ASML. Ông bày tỏ lo ngại rằng một trong những hệ thống quang khắc EUV tiên tiến nhất của hãng có thể đã xuất hiện tại Trung Quốc bất chấp các lệnh kiểm soát xuất khẩu do Mỹ thúc đẩy trong nhiều năm qua.
Đối với Washington, đây không phải là một nghi vấn nhỏ. Máy quang khắc EUV hiện được xem là thiết bị quan trọng nhất trong quá trình sản xuất các loại chip tiên tiến phục vụ trí tuệ nhân tạo, điện toán hiệu năng cao và điện thoại thông minh cao cấp. Các hệ thống này có kích thước tương đương một chiếc xe buýt trường học, chứa hàng trăm nghìn linh kiện phức tạp và được ASML độc quyền sản xuất trên toàn cầu.
Tuy nhiên, ASML đã nhanh chóng bác bỏ nghi vấn từ phía Mỹ.
Theo những người tham gia các cuộc trao đổi, tập đoàn Hà Lan khẳng định chưa từng bán bất kỳ máy EUV nào cho Trung Quốc. Công ty cũng cho biết việc bí mật vận chuyển hoặc đưa một hệ thống EUV vào Trung Quốc gần như không thể xảy ra do quy trình lắp đặt, bảo trì và vận hành đều phụ thuộc rất lớn vào sự tham gia trực tiếp của ASML.
Sau cuộc gặp với ông Lutnick hồi tháng 4, ASML thậm chí đã chuẩn bị và lưu hành tại Washington một tài liệu mang tên "Không có dấu hiệu nào cho thấy hệ thống EUV của ASML xuất hiện tại Trung Quốc". Theo tài liệu này, hiện có 314 hệ thống EUV đang hoạt động trên toàn thế giới cùng 26 hệ thống đã ngừng sử dụng, và không có hệ thống nào được đặt tại Trung Quốc.
ASML cũng nhấn mạnh rằng các máy EUV liên tục kết nối với hãng trong quá trình vận hành. Điều đó cho phép công ty phát hiện những bất thường như mất kết nối, thay đổi vị trí hoặc các hoạt động không đúng quy trình. Theo hãng, khách hàng không thể tự ý tháo dỡ, vận chuyển và lắp đặt lại các hệ thống EUV mà không có sự hỗ trợ từ ASML.
Dù vậy, những nghi ngờ từ phía Mỹ vẫn chưa biến mất. Một số quan chức trong chính quyền Trump cho biết họ có thông tin cho thấy ASML đã xuất khẩu sang Trung Quốc một số thiết bị chuyên dụng liên quan tới việc vận chuyển hoặc vận hành hệ thống EUV. Tuy nhiên, các quan chức này từ chối công bố bằng chứng với lý do liên quan tới nguồn tin và tính chất nhạy cảm của thông tin.
ASML tiếp tục phủ nhận các cáo buộc đó. Công ty khẳng định chưa từng xuất khẩu sang Trung Quốc bất kỳ máy EUV hoàn chỉnh nào, cũng như các bộ phận, mô-đun hoặc thiết bị được thiết kế riêng cho hệ thống EUV.
Điều đáng chú ý là toàn bộ tranh cãi xuất hiện trong bối cảnh Huawei đang đạt được những bước tiến khiến Washington ngày càng lo ngại. Trong nhiều năm, việc không thể tiếp cận công nghệ EUV được xem là hạn chế lớn nhất đối với tham vọng sản xuất chip tiên tiến của Trung Quốc. Thế nhưng Huawei gần đây liên tục giới thiệu các thành tựu mới trong lĩnh vực bán dẫn và thậm chí công khai nói về khả năng sản xuất chip mà không cần tới máy EUV của ASML.
Chính điều đó khiến câu chuyện lần này trở nên phức tạp hơn nhiều so với một nghi vấn liên quan tới xuất khẩu thiết bị. Nếu thực sự không có bất kỳ hệ thống EUV nào tại Trung Quốc, nhưng các công ty như Huawei và SMIC vẫn tiếp tục thu hẹp khoảng cách công nghệ với phương Tây, Washington sẽ phải đối mặt với một câu hỏi khó khác: liệu các biện pháp kiểm soát xuất khẩu vốn được xem là nền tảng trong chiến lược kiềm chế ngành bán dẫn Trung Quốc có còn hiệu quả như kỳ vọng hay không.
Hiện chưa có bằng chứng công khai cho thấy một hệ thống EUV của ASML đang hoạt động tại Trung Quốc. Tuy nhiên, việc chính quyền Mỹ liên tục chất vấn nhà sản xuất thiết bị bán dẫn quan trọng nhất thế giới cho thấy mức độ lo ngại ngày càng lớn của Washington trước những bước tiến mà ngành chip Trung Quốc đạt được trong những năm gần đây.
Nguyễn Hải
